洁净室要取得超卓的洁净作用,不仅要侧重选用合理的空调净化办法,而且也要求工艺、修建及其他专业选用相应的办法。不但要有合理的规划,而且还要精心的符合标准的施工设备,以及正确的运用洁净室和科学的保护处理。实践上,不同专业之间很难做到理想地协作,而且规划者很难把握施工设备质量以及运用和处理情况,特别后者。就洁净室净化办法而言,许多规划者,或许还有施工方,往往对其必要条件未予满足注重,形成洁净作用不志向。本文仅就洁净室净化办法中抵达洁净度要求的四个必要条件简明论说。
一、送风洁净度:
要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的功用和设备。
净化系统末级过滤器一般选用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准规矩高效过滤器功率分四档:A类为≥99.9%,B类为≥99.9%,C类为≥99.999%,D类为(对≥0.1μm粒子)≥99.999%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器为(对≥0.5μm粒子)95~99.9%。功率越高,过滤器的价格也越贵。所以选择过滤器时应本着既要满足送风洁净度要求,又要考虑经济合理。从洁净度要求考虑,以低等级洁净室选用低功用过滤器、高等级洁净室选用高功用过滤器为准则。一般说来:100万级可选用高中效过滤器;低于1万级可选用亚高效或A类高效过滤器;1万~100级选用B类过滤器;100~1级选用C类过滤器。这儿每个洁净度等级如同都有两类过滤器可供选择,选择高功用的仍是低功用的,要视具体情况而定:当环境污染严峻,或室内排风比例很大,或该洁净室特别重要,需求较大安全系数,在这些或其间之一情况下,均要选择高一类过滤器;反之可选择较低功用过滤器。对0.1μm粒子要求操控的洁净室,不管操控的粒子浓度凹凸均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器视点启航,实践上要选择好过滤器还要全面考虑洁净室特性、过滤器特性和净化系统特性。
要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不可的,还要保证:a.运送、设备进程不损坏过滤器;b.设备紧密。要做到,则要求施工设备人员训练有素,既要有设备净化系统方面的知识,又要具有较熟练的设备技能,否则将难以保证不损坏过滤器,这方面是有深刻经验的。其次,设备紧密性问题,首要取决于设备结构型式好坏,规划手册一般推荐:关于单个过滤器选用明装型式,这样即使发生渗漏,也不致漏到室内;选用制品高效送风口,紧密性也比较简单得到保证。关于多个过滤器的风□,近几年常选用液槽密封和负压密封。液槽密封有必要保证液槽接缝紧密和全体结构都处于同一水平面上。负压密封便是使过滤器与静压箱和结构接缝的外周边处于负压情况,与明装型式相同即使渗漏也不会漏到室内。实践上只需做到设备结构平坦,过滤器端面与设备结构接触均匀,任何设备型式使过滤器抵达设备紧密性要求应该说是不难的。
二、气流组织:
洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将洁净的空气首要送到操作部位,它的作用在于束缚和削减对加工物的污染。为此,在规划气流组织时应考虑这些准则:尽量削减涡流,防止将作业区以外的污染带入作业区;尽量防止尘土的二次飞扬以削减尘土对工件的污染机会;作业区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口活动时要使空气中的尘土能有用的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风办法。
不同的气流组织,各有其特征和规划:
1) 笔直单向流:均可取得均匀向下气流,便于工艺设备组织,自净才调强,可简化人身净化设备等一起设备等一起利益外,四种送风办法还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、替换过滤器周期长等利益,但顶棚结构杂乱,造价高;侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反,其间全孔板顶送在系统非连续作业时,孔板内表面易积尘,保护欠好,对洁净度有些影响;密集散流器顶送,因需求一段混和层,所以只适用于4m以上巨大洁净室,其特征与全孔板顶送相仿;关于相对两头格栅的板和相对两头墙下部均匀组织回风口的回风办法仅适用两头净间隔小于6m的洁净室;单侧墙下部布回风口仅适用对墙间隔较小(如≤>2~3m)的洁净室。
2)水平单向流:只在榜首作业区抵达100级洁净度,当空气流向另一侧的进程中含尘浓度逐步升高,所以仅适用于同一房间工艺进程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙部分布高效过滤器较满布水平送可削减高效过滤器用量,节省初出资,但部分区域有涡流。
3)乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特征与前述相同:侧送的利益易于管道组织,无需技能夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是作业区风速较大,劣势侧比优势侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简略、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达作业区等利益,但洁净气流松懈缓慢,作业区气流较均匀;不过当均匀地组织多个风口或选用带松懈板地高效过滤器风口时,也可使得作业区气流较均匀;但在系统非连续作业地情况下,松懈板易积尘。
以上论说均归于较理想情况,也是有关标准、标准或规划手册所推荐。实践工程中或受限于客观条件,或由于规划者的主观原因而未规划好气流组织,常见的有;笔直单向流选用相邻两头墙下部回风,部分百级选用上送上回(即部分送风口下未加下垂围帘),乱流型洁净室选用高效过滤器风口顶送上回或单侧下回(对墙间隔较大)等,这些气流组织办法经实测,其洁净度大多数都达不到规划要求。由于现行标准规矩空态或静态查验,单个的这类洁净室在空态或静态下牵强抵达规划的洁净度等级,但抗污染烦扰才调很低,一旦洁净室进入作业情况就达不到要求。正确的气流组织部分区域应设围帘下垂至作业区高度,10万级也不该选用上送上回。还有现在大多数工厂出产的带松懈板的高效送风口,其松懈板都只是装饰性孔板而不起松懈气流作用,请规划者和用户要特别注意。
三、送风量或风速:
满足的通风换气量是为了稀释和清扫室内污染空气,根据不同的洁净度要求,当洁净室净高较高时,恰当添加换气次数。其间,100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑,其他均按高效净化系统考虑;当10万级洁净室高效过滤器会合组织在机房或系统结束选用亚高效过滤器时,可恰当行进换气次数10-20%。
四、静压差:
洁净室坚持必定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以坚持规划洁净度等级必不可少地条件之一。即使是负压洁净室,它也有必要有不低于它洁净度等级的相邻房间或套间坚持必定地正压,负压洁净室的洁净度才调得以坚持。
洁净室正压值是指门窗悉数关闭情况下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的办法来抵达。为了保证洁净室正压值,送风、回风和排风机好联锁,系统翻开时先主张送风机,再主张回风机和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统翻开和关闭时遭到污染。
坚持洁净室正压所需的风量首要根据保护结构密闭性好坏来招认。我国洁净室制造初期由于围护结构密闭性较差,要坚持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量;现在保护结构密闭性已大为行进,坚持相同的正压只需1~2次/h送风量;坚持≥1OPa也只需2~3次/h送风量。
关于一个洁净室来说,以上四个必要条件有必要一起得到满足,才调保证洁净度抵达要求并具有应有的抗污染烦扰才调。