无尘车间的发展与现代工业和技术密切相关。目前,它已广泛应用于生物制药、医疗卫生、食品日化、电子光学、能源、精密设备等行业。
空气洁净度等级(aircleanlinessclass):在洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子浓度限值划分的等级标准。无尘车间按空态、静态、动态进行测试验收,符合要求《GB50073-2013洁净厂房设计规范,《GB50591-2010洁净室施工及验收规范。
清洁度和控制污染的可持续稳定性是检验无尘车间质量的核心标准。该标准根据区域环境、清洁度等因素分为国际标准和国内区域行业标准。
ISO1444-1国际标准
GB50073-2013标准
中国GMP新版(2010年修订)GMP附录1无菌药物.第三章.第九条……洁净区各级空气悬浮颗粒的标准规定如下
各国洁净度等级近似对照表
无尘车间(洁净室)等级说明
1.个等级定义模式如下:
ClassX(atYμm)
X是无尘室的等级,如100或100000等,Y是粒径如0.2μm,0.5μm等等,可以重新选择。这意味着用户规定无尘室的颗粒含量必须满足这个等级的限制。这可以减少争端,以下是几个例子:
Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
Class100(0.2μm,0.5μm)
Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100,1000,10000...),一般看一个粒径。在那里。ClassesLessthan100(M3.5)(Class10,1...),一般要看多少粒径。
2.其次,技巧是规定无尘室的状态,如:
ClassX(atYμm),At-rest
供应商非常清楚无尘室应该在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自定微粒浓度上限,一般在As-built当无尘室非常干净颗粒控制能力测试不容易,此时可以简单压低验收上限,如:
Class10000(0.3μm<=10000),As-built
Class10000(0.5μm<=1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,仍有足够的颗粒控制能力。
半导体行业无尘车间(洁净室)案例图集
1.黄光车间多建在百级洁净区,千级洁净区也涉及到
2.半导体洁净室(高架地板)常用于百级和千级区域
3.常规半导体洁净室(洁净区:万级至十万级)